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压电薄膜的摩擦、磨损性能

发布于:2014-09-15 08:04来源:未知 作者:www.hb10fen.com点击:
压电薄膜的摩擦、磨损性能
 压电薄膜的摩擦、磨损性能
 摘要:具有准同型相界组分的 0.5Ba  O3- 0.5  TiO3  BZT-0.5BCT 陶瓷,表现出优异的铁电、压电性能,作为一种具有潜在应用前景的无铅压电材料得到广泛关注。本文采用溶胶-凝胶方法在 Si 100 基底上制备了 BZT-0.5BCT 压电薄膜.使用原子力显微镜和扫描电子显微镜测量得到样品的形貌图,形貌图表明该方法制备的无铅压电薄膜表面光滑,晶粒大小均匀、呈半球形,直径为 80-100 nm,厚度为 1.7μm,膜的内部有气孔.
摩擦力实验表明,压电薄膜样品与硅针尖之间存在静电力的作用,导致其摩擦力远大于硅针尖与 SiO2 之间的摩擦力,但是两者的摩擦系数基本相同。划痕实验表明,BZT-0.5BC 薄膜具有很强的法向承载能力,但是切向抗磨损能力差,样品的平均弹性模量为 23.645GPa,其硬度为 2.7~4 GPa,两者均略低于压电陶瓷 PZT 材料的体态值。
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